MTS虚实整合(CPS Technology )包含以下知识：

• 设备制程深知识-

各站别设备设计及使用原理深知识,知识的运用

• 设备制程诊断技术-

具备影响产能,质量, 的设备及制程Function 的工业诊断数据搜集量测分析的能力

• 优化仿真技术知识-

透过知识仿真各Device及各设备的关联性,以建立工业仿真数据的知识

• 设备制程质量可靠度知识-

提升以UPH, OEE, Yield, MTBA, MTBF, 改善1st Pass Yield , CPK, Downtime , 及节能的Business Value。