半导体产业新的突破性技术进步是能够完整的为生产线设备提供实时监控的技术和服务，这将有助于降低运营成本、减少计划外停机时间，并提供最大的客户利益。

MTS 实时监控是先预测设备何时可能发生故障（基于诊断因素），然后通过技术解决方案预防故障的产生。在检测设备上的特定或隐藏异常的同时，还监控其他运行良好的设备。实时监控可以提供实时连续的自动诊断和建议，以确保设备零故障

MTS即时监控自动诊断透过无线连接至物联网

• 计划外停机时间减少 60-98%
• 维护计划时间减少 20-50%
• 设备正常运行时间可用性增加 26-35%
• 产品质量提高 12-20%

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