半导体产业的新突破性技术创新是通过将多种物理技术（如网络物理系统中的数位孪生与AI平台在生产线制程中的边缘计算架构集成在一起），来实现智慧设备，从而实现设备全自动化流程（更少的人为依赖）。

MTS解决方案： 关注于“时间就是金钱” +“自主性制程”

1. MTS 0 卡货/零停机解决方案–所有类型的制程设备
2. MTS 0 报警解决方案–所有类型的制程设备
3. MTS 0 PPM解决方案–零瑕疵（一次测良率=最终良率）
4. MTS智慧设备–所有类型的制程设备
5. MTS智慧制造–所有类型的产业