MTS边缘计算​​技术包含以下步骤：

机台端

无线感测器网络(WSNs)，安装于设备重要部位撷取信号，无线RF发送讯号至边缘计算机。

边缘端

接收原始讯号后，经由讯号机微分、讯号模型储存原始数据，再由讯号过滤、特征撷取、AI诊断将资料分析并储存在资料库，最后将分析资料输入MTS边缘计算​​AI运算。

输出端

将运算结果回授至机台搭配自动控制达成自动优化、自动调整、自动补偿，所有分析数据及补偿结果即时更新中控平台。

MTS发展出的边缘计算技术(Edge Computing Technology)，涵盖设备制程深知识、设备制程诊断技术、优化模拟技术知识及设备制程品质可靠度知识，与虚实整合技术(CPS Technology)相呼相应。