MTS邊緣計算技術包含以下步驟：

機台端

無線感測器網絡(WSNs)，安裝於設備重要部位擷取信號，無線RF發送訊號至邊緣計算機。

邊緣端

接收原始訊號後，經由訊號機微分、訊號模型儲存原始數據，再由訊號過濾、特徵擷取、AI診斷將資料分析並儲存在資料庫，最後將分析資料輸入MTS邊緣計算AI運算。

輸出端

將運算結果回授至機台搭配自動控制達成自動優化、自動調整、自動補償，所有分析數據及補償結果即時更新中控平台。

MTS發展出的邊緣計算技術(Edge Computing Technology)，涵蓋設備製程深知識、設備製程診斷技術、優化模擬技術知識及設備製程品質可靠度知識，與虛實整合技術(CPS Technology)相呼相應。