MTS虛實整合(CPS Technology )包含以下知識：

• 設備製程深知識-

各站別設備設計及使用原理深知識,知識的運用

• 設備製程診斷技術-

具備影響產能,品質, 的設備及製程Function 的工業診斷數據蒐集量測分析的能力

• 優化模擬技術知識-

透過知識模擬各Device及各設備的關聯性,以建立工業模擬數據的知識

• 設備製程品質可靠度知識-

提昇以UPH, OEE, Yield, MTBA, MTBF, 改善1st Pass Yield , CPK, Downtime , 及節能的Business Value。